天准科技:28nm节点检测设备正在研发中
【天准科技:28nm节点检测设备正在研发中】 天准科技在互动平台表示,近日,天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用,28nm节点检测设备正在研发中。
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