赛微电子:控股子公司MEMS微振镜启动量产
【赛微电子:控股子公司MEMS微振镜启动量产】赛微电子公告,控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司以MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems的缩写,即微电子机械系统,简称为微机电系统)工艺为某客户制造的MEMS微振镜完成了小批量试生产阶段。
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