台积电称将在2024年获得ASML最先进的EUV光刻机设备
【台积电称将在2024年获得ASML最先进的EUV光刻机设备】台积电研发资深副总经理米玉杰在一个会议上表示，该公司将在2024年获得阿斯麦尔(ASML)的新一代最先进光刻机。他并未说明该设备将在何时用于批量生产。台积电业务开发资深副总经理张晓强稍后做出澄清，表示台积电不会在2024年准备好将新的高数值孔径EUV光刻机用于生产，该设备将主要用于与合作伙伴的研究目的。
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