晶瑞电材:公司KrF光刻胶产品争取今年批量供货
【晶瑞电材:公司KrF光刻胶产品争取今年批量供货】晶瑞电材在互动平台回答投资者提问时表示,公司KrF(248nm深紫外)光刻胶产品分辨率达到了0.25~0.13μm的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF光刻胶生产及测试线已经基本建成,设备正在安装调试中,争取今年批量供货。
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